二次イオン質量分析計
http://pmlgw.misasa.okayama-u.ac.jp/SIMS_J.html
SIMSは一次イオンビーム（加速電圧12.5keV)を試料にぶつけ，試料表面からたたき出されイオン化した元素を，再び加速(加速電圧4.5keV) することによって二次イオンビームを生成します．二次イオンビームは，電場，磁場を通過することによってその質量（＋電荷）によって分離し，そのビーム強度をファラデーカップ，もしくはエレクトロンマルチプライヤーを用いて測定します．
だそうです。
