2019-05-13 「Air Liquide社のヘリウム液化機 HELIALについて -標準型のヘリウム液化機-」(米倉剛 他) ヘリウムニュース 寒剤 https://www.jstage.jst.go.jp/article/jcsj/53/2/53_86/_pdf