『丸善実験物理学講座4 試料作製技術』(小間篤)

試料作製技術 (丸善実験物理学講座)

試料作製技術 (丸善実験物理学講座)

第4章 薄膜試料作製技術
4-3有機金属気相エピタキシー
4-3-1 原理と特徴
4-3-2 有機金属原料
4-3-3 装置
4-3-4 成長の制御と特性